Метод на обработка с точност на обработка до 1 μ M. Прецизната обработка се осъществява чрез използване на прецизни машинни инструменти, измервателни инструменти и измервателни уреди под строг контрол на условията на околната среда. Тя се нарича ултра прецизна обработка, когато точността на обработка достигне или надвиши 0,1 µM.

Технологичният ефект от прецизната обработка е следният:

Точността на геометричната форма и взаимното разположение на частите може да достигне микрон или ъгъл секунда;

Допустимото отклонение на границата или характеристиката на частта е под микрометър;

Повърхностните микро неравности (средна разлика във височината на повърхностните неравности) на части са по-малко от 0,1 µ m;

Взаимната арматура може да отговаря на изискванията за комбиниране на сила;

Някои части също могат да отговарят на изискванията за точни механични или други физически свойства;